
国家知识产权局信息显示配资炒股配资优秀,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“一种线端图形的光学邻近修正方法”的专利,公开号CN121300003A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明提供一种线端图形的光学邻近修正方法,包括:将线端图形分为呈长条状的第一部分图形以及长条状两端呈凸出状的第二部分图形,其中第二部分图形具有与第一部分图形的延伸方向相垂直的第一边以及与第一部分图形的延伸方向相平行的第二边;将符合第一阈值条件的第二部分图形的第一边向外延伸;将符合第二阈值条件的第二部分图形的第一边向内收缩;将符合第三阈值条件的第二部分图形的第二边向外延伸;进行选择性偏差算法将第一部分图形的边向外延伸或向内收缩,获得线端图形局部调整阶段光刻曝光后的目标值。本发明在局部调整阶段对线端图形进行调整,即解决了接触孔的包裹程度的问题,又解决了线端图形的边缘放置误差问题。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目190次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息928条,此外企业还拥有行政许可56个。
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